电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多，且量也大，所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和洁净度要求高：
1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)
2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：
5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。