（1）废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应，打开废气和臭味污染物分子的化学键，破坏其分子结构和核酸；利用高能紫外光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物。如CO2、H2O等。UV+O2→O-+O(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
（2）废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，产生高浓度、度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应；
（3）UV紫外光解与等离子分解如此高效协同地产生一系列光解和分解反应，经过复合式多级净化后从而达标排放！既能安全高效地净化治理各种有害废气，又能高效干净地去除各种恶臭味道。
等离子光解一体机技术特点与优势
设备结构紧凑，占地面积小，安装简单。
友好的人机界面、智能化的控制，操作和维护简便易行。
留有计算机接口，方便联入中控室统一控制、操作。
可与设备联动，只需运行设备，除异味装置即可联动。
投资，资金适中。
设备功耗低，运行时只需电和少量的水；运行费用极低。
设备可以灵活组合，根据不同废气进行不同的组合。
处理后的终产物为二氧化碳和水，无二次污染。