控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光解设备功率充足的情况下，测得UV光解净化效率均可达到99%以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光解适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光解净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致UV光解的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套UV光解净化设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响UV光解净化设备净化率的各种因素，尽量的去提高UV光解净化工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，UV光解净化系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上甚至更高。
UV光解具有以下显著优点：1.适应性强：可适应绝大部分高浓度，大气量，不同有机气体物质的净化处理，通过合理的模块配置可广泛应用于：炼油厂、橡胶厂、化工厂、制厂、污水处理厂、垃圾转运站、污水泵房、空调等气体的脱臭灭菌净化处理。
UV光解废气处理设备的原理：1.特定的波段（253.7纳米）的紫外线对恶臭气体的分子链进行分解，将其大分子结构打破变成小分子结构。2.特定的波段（185纳米）波段的紫外线使空气中的氧分子产生活性氧，即游离态的氧。因为游离氧所携带正负电子不平衡，所以与空气中的氧分子结合，进而生成臭氧。3.受催化剂二氧化钛（TIO2）的影响下，臭氧将打碎的恶臭气体分子氧化成二氧化碳（CO2）和水（H2O）等无机物。