另外通过添加特制催化剂：根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化的效果。通过特定波长光线照射，激活纳米光催化剂，生成电子空穴对，使光催化剂与周围的H2O分子O2分子发生作用，结合生成氢氧自由基OH，通过氢氧自由基层层锁住空气中各种有害成分，分解有害分子结构构造，抑制生长和的活性能力，从而达到杀菌、空气净化、除臭、防霉、污染的目的。
工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过拜见管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏,再通过臭氧进行氧化反应，达到净化及杀灭的目的。
光氧催化废气处理装置采用紫外线光源对废气分子链进行净化的专业技术，运用253.7纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，为第一重处理；取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子或中子、原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等，为第二重处理；再根据不同的废气成分配置7种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准.
利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(游离氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它性异味有立竿见影的效果。恶臭/工业废气利用排风设备引入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏的，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭的目的。（下图所列为工艺说明）废气分子光解氧化说明示意图。