福尔康13B-5P 出售二手13B双面抛光机 高精密双面研磨机详细说明工厂低价转让多台8成新 13B福尔康品牌 双面抛光研磨机
产品用途:
本机适用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。
主要特点:
1.变频器配合异步电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.采用双电机同步拖动,太阳轮变速范围更广,能适应不同研磨工艺的要求。
3.太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
4.上下研磨盘采用斜齿轮传动,提高了运转平稳性。
5.采用PLC控制,压力采用电—气比例阀闭环反馈控制,压力等级设定更方便
,操作简单易行,工作可靠稳定。
6.本机应用人机界面(PT)采用人机界面终端(NT)显示与PLC控制,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数,主操作由普通键钮完成。
7.造型及内部结构充分考虑了可靠性、实用性、互换性和操作和维修的方便性。
主要技术参数:
1、研磨盘尺寸:φ1112mm×φ380mm×50mm
2、游星片参数:公制M=2Z=212
英制DP12Z=200
3、游星片数量:5片
4、研磨直径:φ350mm
5、最小研磨厚度:0.40mm/φ125mm
6、研磨厚度:30mm
7、下研盘转速0-50rpm
8、主电机:11kWAC380V1450rpm变频调速
9、副电机:1.5kWAC380V1400rpm
10、砂泵参数:1/4HP380V
11、气源:0.5-0.6MPa
12、外形尺寸:2200mm×1600mm×2700mm
13、质量:约5600Kg
主机精度:
1.下研盘端跳:0.06mm
2.研磨盘平面度:0.025mm
3.太阳轮径向跳动:0.08mm
4.齿圈径向跳动:0.15mm
加工精度(四个修正轮修研后):
1.修正轮修研后平行平面度:≤0.004mm
2.加工件平面平行度:≤0.0035/φ125mm
加工能力:
1.单片承片量:17片/φ75mm8片/φ100mm5片/φ125mm
2.整盘承片量:85片/φ75mm40片/φ100mm25片/φ125mm