母合金掺杂剂

■掺杂，又称配料，掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质（如磷）或受主杂质（如硼）的杂质浓度，使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金：

■形状

■块状

■片状

■棒状

■掺杂类型

■硼

■磷

■型号

■P型

■N型

■电阻率

■0.001-0.006 Ω.CM

■确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内

■浓度

■硼含量(atom/cm3)=1.1732E20～1.6184E19

■磷含量(atom/cm3)=7.3763E19～9.6552E18

■碳含量(atom/cm3)<5E16

■氧含量(atom/cm3)<1E18