10万级净化车间通常都需频繁擦拭,除了用水擦拭还会用水、其它溶剂等擦拭,这些液体通常都有一定的化学品性,会使一些材料表面变色、脱落,这就要求装修材料表面有一定的耐化学品性。
一般10万级净化车间工程要求用石膏板时必须用防水石膏板,而对于生物净化车间由于经常用水擦洗和用液冲洗,即使防水石膏板也要受潮变形,不耐冲洗,所以规定生物净化车间不应采用石膏板作罩面材料。另外十万级净化车间工程的隔墙一般彩用50mm防火岩棉彩钢板,而顶板建议采用玻镁板,当然也会用纸蜂窝彩钢板。隔间、吊顶都需要用彩钢板,通常都需要用防火岩棉荚芯彩钢板。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。
十万级GMP洁净车间对不同的对象,有不同的玷污物控制要求。
计有:
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。