10万级净化车间通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用水、其它溶剂等擦拭，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变色、脱落，这就要求装修材料表面有一定的耐化学品性。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地：静坐时，人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80% 。
十万级GMP洁净车间对不同的对象，有不同的玷污物控制要求。
计有：
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→送风口→洁净室→带走尘埃（） → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程，即可达到净化目的。
技术参数
换气次数：十万级10－15次/小时；
万级15－25次/小时；
千级50－52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s；
压差：主车间对相邻洁净房间≥5Pa；洁净房间对非洁净区≥10Pa；
温度:冬季>16℃±2℃；夏季 新风补充量：总送风量的20%－30%；