0万级净化车间要求使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用。由于净化车间换气次数大,相对湿度低,如大量使用木材,易干裂、变形、松动、产生灰尘等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮处理。
一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周采用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达100---10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域,如流水线作业区的高度产品组装区
无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。