洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准，一些知名净化工程公司，在通行标准之外，还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标，净化能力和环境适应力远超国际品牌。。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地：静坐时，人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80% 。
十万级GMP洁净车间对不同的对象，有不同的玷污物控制要求。
计有：
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→送风口→洁净室→带走尘埃（） → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程，即可达到净化目的。
技术参数
换气次数：十万级10－15次/小时；
万级15－25次/小时；
千级50－52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s；
压差：主车间对相邻洁净房间≥5Pa；洁净房间对非洁净区≥10Pa；
温度:冬季>16℃±2℃；夏季 新风补充量：总送风量的20%－30%；