洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。
十万级GMP洁净车间对不同的对象,有不同的玷污物控制要求。
计有:
⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。