在无尘车间工程设计过程中,应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
净化车间也叫无尘车间、洁净室、无尘室;是指把一定空间范围内的空气之中的微粒子、有害气体、等之污物除去,并且把室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪音震动以及照明、静电控制在某一需求范围内,给予特别设计的房间。也即是无论外在之空气条件如何变化,其室内都能具备保持原先所设定要求之洁净度、温湿度以及压力等性能之特性。
净化车间每立方米把小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,便达到了国际无尘标准的A级。目前运用于芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级比较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制于每立方米1000个之内,这也就是业内俗称的1K级别净化车间。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。