超纯水水质指标常用的是电阻率，总有机碳，颗粒，热源

超纯水水质指标分为一级超纯水水质指标和二级超纯水水质指标 分别为电阻率（25℃）MΩ。cm≥15 ≥10 2。电导率μS/cm0.05 0.1 3. ph值6.8-7.2 6.6-7.4 4. 总数个/mL ＜3 ＜9 5.微粒（直径＞0.5μm,粒/mL)＜150 ＜300 6. 二氧化硅＜10 ＜20 7.有机物（以COD计）＜0.3 ＜0.5 8.钠 N＜0.5 ＜2