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超纯水是指电阻率为18 mΩ*cm(25℃)的水。超纯水是纯度的水.这是一种工业用水，用于集成电路行业清洗半导体原料和器具，制备光刻掩模和硅片氧化的水蒸气来源。超纯水也用于其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等