光伏领域:在薄膜太阳能电池中,铟靶材可作为光吸收层形成用的溅射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太阳能电池,有助于提高太阳能电池的转换效率。
航空航天与国防科技
1. 红外探测与成像
用途:在红外焦平面阵列(IRFPA)中作为芯片互连材料(如铟柱倒装焊),实现探测器芯片与读出电路的高密度连接。
场景:军用夜视仪、卫星遥感设备、热成像仪等。
2. 高温真空器件
应用:在航空航天用真空电子器件(如行波管、磁控管)中作为密封材料或电极镀膜,利用铟的低蒸气压和抗腐蚀特性。
铟靶是现代电子信息、新能源、高端制造等战略性新兴产业的底层关键材料,其应用深度和广度直接反映一个国家在半导体、显示、光伏等领域的技术水平。由于全球铟资源稀缺(主要伴生于锌矿),且提纯工艺复杂,铟靶的供应链已成为各国关注的重点。未来,随着 5G、AI、新能源汽车等产业的爆发,铟靶的需求将持续增长,同时推动高纯铟(99.999% 以上)制备技术的不断突破。
溅射气体控制
气体纯度:使用高纯氩气(99.999% 以上),避免氧气、水汽混入导致铟靶氧化(氧化铟导电性下降,易形成电弧放电)。
气压调节:
直流溅射(DC):气压通常为 0.1~10 Pa,低气压下溅射速率高但薄膜致密度低;高气压下薄膜均匀性好但沉积速率慢。
射频溅射(RF):适用于绝缘基底,气压可略高于直流溅射,需根据薄膜厚度要求动态调整。