1、高纯铋靶材加工工艺流程

原料

原料检测

成 型

热 处 理

机加工成型

选用进口或

国产高纯铋

碳硫分析仪，氧氮分析仪，ICP，XRD，GDMS。

热等静压,真空感应熔炼

电子束熔炼,悬浮熔炼等

晶粒细化

切割，磨床，铣床，车床，CNC。

成品检测

绑定

探伤扫描

合格

包装出库

交付客户

检测成品外观尺寸公差

金属化

绑定

专用包装

2、应用领域机设备

2-1适用设备：适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺、Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备。

2-2应用领域：生产及科研<s